預燒結貼合機麵向功率半導體芯片貼裝市場,配備功能(néng)更加強大的BONDHEAD係統,除了高精度(dù)貼合功能外,還具備保壓、加熱功能(néng)。配合高精度的加熱係統,實現電子元器件的預燒結貼合。
產品介紹:
預燒結(jié)貼合機SDB200麵向功率(lǜ)半導體芯片貼裝市場(chǎng),配備功能更加強大的BONDHEAD係統,除了高精度貼合(hé)功(gōng)能(néng)外,還具備保壓、加熱功能。配合高(gāo)精度的加熱係統,實現電子元(yuán)器件的預燒(shāo)結貼(tiē)合。
應(yīng)用範圍:
預燒結(jié)固晶機(jī)適用於IGBT、SiC、DTS、電阻等高溫預(yù)燒(shāo)結工藝,主要應用(yòng)於功率模塊、電源模塊、新能源、智能電網(wǎng)等產業領域。
產品(pǐn)特點:
高速(sù)、高精度固晶能力
具備加熱功能的貼裝頭和(hé)貼裝平台
高精密溫控係統
精準的力控係統
支持wafer上(shàng)料
支持自動更換(huàn)吸嘴
支持自動更換(huàn)頂針座
設備結構緊湊,占地小
項目 | 詳細(xì)參數 |
貼裝精度(um) | ±10 |
旋轉精度 (@ 3sigma) | ±0.15° |
貼裝角度(dù)偏差 | ±1° |
貼裝Z 軸力控 (g) | 50-10000 |
力控精(jīng)度(g) | 50-250g,重複精度/±10g; 250g-8000g,重複精度±10% ; |
貼裝(zhuāng)頭加熱溫度 | Max.200℃ |
貼裝頭旋轉(zhuǎn)角度 | Max.345° |
貼裝頭冷卻 | 空氣/氮氣冷卻 |
芯片尺寸(mm) | 0.2*0.2~20*20 |
wafer尺寸(英(yīng)寸) | 8 |
貼裝工(gōng)作台加熱溫(wēn)度 | Max.200℃ |
貼裝工作台加熱區域溫度(dù)偏差 | <5℃ |
貼裝工作台可(kě)用範(fàn)圍(mm) | 380×110 |
貼裝頭XYZ行程(mm) | 300x510x70 |
設備可換吸嘴個(gè)數 | 5 |
設備可換頂針模塊個數(shù) | 5 |
基(jī)板上料方式 | 手動 |
芯片上料方式 | 半自動(手(shǒu)動放wafer盤,自(zì)動(dòng)取芯片) |
核(hé)心運動模組(zǔ) | 直線電機+光柵尺 |
機器平台基座 | 大理石(shí)平台(tái) |
機器(qì)主(zhǔ)體尺寸(長X寬X高,mm ) | 1050X1065X1510 |
設備(bèi)淨重 | 約900kg |